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| 汉钟PS系列干式螺杆真空泵 |
| 关键词：泵 真空泵 真空泵设备 汉钟真空泵 |
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公司名称：深圳市信仕德科技有限公司 |
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详细说明 |
汉钟PS系列螺杆真空泵特点： 1 排气路径短，减少反应物沉积 2线性密封性佳，泵性能*优 3结构简单，故障率低，维修容易 4电机水冷设计，通过防爆*，安全百分比 5 微电脑操作，远端监控，保护周全 上海汉钟干式真空泵 PS系列 包括机型 汉钟真空泵PS80 ，汉钟真空泵PS160，汉钟真空泵 PS180，汉钟真空泵 PS602，汉钟真空泵 PS902,汉钟真空泵 PS1302,汉钟真空泵 PS1802 台湾汉钟真空泵PS系列产品特点 螺旋真空泵浦产品特色 汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过*转子线形良好的密封效果，*压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。 泵浦温度控制精准 汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命。 密封马达安全性高 PS系列真空泵浦亦全面采用*设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险。 微电脑控制保护周全 PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，*适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。 |
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