入口法兰

DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K

抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)

  N₂

61 ls^-1 (42 ls^-1) (66 ls^-1)

  He

57 ls^-1  (49 ls^-1) (59 ls^-1)

  H₂

53 ls^-1  (48 ls^-1) (54 ls^-1)

压缩比

  N₂

>1 × 10¹¹

  He

1 x 10⁶

  H₂

5 x 10⁴

极限压力 (mbar)

带有 RV 前级泵 ISO/CF

<5 x 10^-9 / 5 x 10^-10

带有隔膜前级泵 ISO/CF

<5 x 10^-8 / 5 x 10^-9

出口法兰

DN16NW

推荐前级泵*

RV5/nXDS5i

排气口

1/8 英寸 BSP

吹扫口

1/8 英寸 BSP

*大连续进气口压力（轻气体泵送）^†

水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度）

2 × 10^-2 mbar

强制空气冷却，35°C 环境温度

1 × 10^-2 mbar

泵旋转速度

标称旋转速度

90000 rpm

待机旋转速度

在 49500 至 90000 rpm 之间变化
（63000 rpm 默认）

可编程功率限制设置

可在 50 至 120 W 之间变化（默认为 80 W）

到 90% 速度的启动时间

110 s ‡

模拟输出

转速；
功耗；泵温度；控制器温度

冷却方法^#

强制空气/水

强制空气冷却的环境空气温度

5 - 35 °C

*小冷却水流速（15 °C 的水）

15 l h^-1

水温范围

10 - 20 °C

*高入口法兰温度

100 °C

操作姿态

垂直且竖直，直到
水平

1 米处的噪音级别

<50 dB(A)

泵可以承受的*大磁场

5 mT

推荐控制器

TIC100 分子泵和仪器控制器

静止电功率

10 W